羅茨真空泵是指具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵,此泵不可以單獨(dú)抽氣,前級(jí)需配
油封、水環(huán)等可直排大氣。它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似,工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器
或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸間隙一般為0.1~0.8
毫米;不需要用油潤(rùn)滑。轉(zhuǎn)子型線(xiàn)有圓弧線(xiàn)、漸開(kāi)線(xiàn)和擺線(xiàn)等。漸開(kāi)線(xiàn)轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高,加工精
度易于保證,故轉(zhuǎn)子型線(xiàn)多用漸開(kāi)線(xiàn)型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450~4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速
30~10000升/秒(1升=10-3米);
羅茨真空泵是指具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵,此泵不可以單獨(dú)抽氣,前級(jí)需配
油封、水環(huán)等可直排大氣。它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似,工作時(shí)其吸氣口與被抽真空容器
或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸間隙一般為0.1~0.8
毫米;不需要用油潤(rùn)滑。轉(zhuǎn)子型線(xiàn)有圓弧線(xiàn)、漸開(kāi)線(xiàn)和擺線(xiàn)等。漸開(kāi)線(xiàn)轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高,加工精
度易于保證,故轉(zhuǎn)子型線(xiàn)多用漸開(kāi)線(xiàn)型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450~4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為
30~10000升/秒(1升=10-3米);極限真空:單級(jí)為6.5×10-2帕,雙級(jí)為1×10-3帕。
羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極
限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽
氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀
態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過(guò)排氣口邊緣,v0空間與排氣側(cè)相通時(shí),
由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)
動(dòng)時(shí),氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內(nèi),有二個(gè)"8"字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上,由傳
動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定
的間隙,可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。